uv光解膠在晶圓切割中的應用

 在晶圓業界加工(研磨、切割)會使用到一款blue tape的膜材,目前大多是日本品牌日東的佔有率較高。


             uv5886是膠水,需搭配涂佈廠(保護膜生產廠)加工成膜后才可算是成品。


             目前大陸在晶圓切割都是使用blue tape,但是晶圓研磨目前工藝都還是使用蠟塊加熱后融化將晶圓置上,再進行研磨加工。待研磨至所需厚度后,在一次加工蠟塊并取下晶圓。未來因環保問題,蠟會被取代掉,所以blue tape將會有更大的需求。



工藝:涂佈廠:將uv-5886使用涂佈設備涂佈於pet膜上,經過烘箱80度c,1分鐘。后段加上離型膜即可收卷。會出現psa黏著特性(類似膠帶),經測試強度可達1200 g / in2

                                 使用端:將成膜的uv off(業界稱blue tape)離型膜撕除,將晶圓黏貼於膜上,經過研磨加工后,照射uv光約10秒鐘即可解膠,將晶圓取下。

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